変位計で厚みを測定する場合、ワークを両側から挟み込むようにして基準点からのそれぞれの距離（距離）を測定し、その和から相対的な厚みを求めます。
測定精度を高めるためには、精密な測定機構が求められますが、いろいろな材質のワークを測定できます。
光干渉方式は、ワークの中を透過する光が境界面で反射することによって発生する干渉光を解析することで、実体の厚みを測定します。
光が透過する材質しか測定できませんが、変位計方式ほど精密な測定機構を持たなくても、より絶対値に近い測定が可能です。（下図参照）

変位計方式と光干渉方式の違い